Design, analysis and fabrication of a novel highsensitivity, low-voltage MEMS microphone using an integrated arm diaphragm

دانشیار

دانشکده: مهندسی مکانیک

گروه: طراحی جامدات

رزومه

دانشکده: مهندسی مکانیک - گروه: طراحی جامدات

نویسندگان	Hamidreza Habibi, Bahram Azizollah-Ganji, Ramazan-Ali Jafari-Talookolaei
نشریه	Sensor Review
تاریخ انتشار	۲۰۲۵

چکیده مقاله