analytical analysis of flat and corrugated membranes for MEMS capacitive sensors

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, Burhanuddin Yeop Majlis
نشریه	International Journal of Nonlinear Dynamics in Engineering and Sciences
تاریخ انتشار	۲۰۰۹

چکیده مقاله