Design and fabrication of a new MEMS capacitive microphone using a perforated aluminum diaphragm

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, Burhanuddin Yeop Majlis
نشریه	SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
تاریخ انتشار	۲۰۰۹

چکیده مقاله