Fabrication of Deep Trenches in Silicon Wafer using Deep

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, burhanuddin yeop majlis
نشریه	Sains Malaysiana
تاریخ انتشار	۲۰۰۹

چکیده مقاله