VERY DEEP TRENCHES IN SILICON WAFER USING DRIE

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, burhanuddin yeop majlis
نشریه	Iranian Journal of Materials Science and Engineering
تاریخ انتشار	۲۰۰۹

چکیده مقاله