FABRICATION OF A NOVEL MEMS CAPACITIVE MICROPHONE USING LATERAL SLOTTED DIAPHRAGM

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji,
نشریه	International Journal of Engineering
تاریخ انتشار	۲۰۱۰

چکیده مقاله