Slotted capacitive microphone with sputtered aluminum diaphragm and photoresist sacrificial layer

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, Burhanuddin Yeop Majlis
نشریه	MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
تاریخ انتشار	۲۰۱۰

چکیده مقاله