Accurate Model of Capacitance for MEMS Sensors using Corrugated Diaphragm

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji,
نشریه	International Journal of Engineering
تاریخ انتشار	۲۰۱۴

چکیده مقاله