The Effect of Corrugations on Mechanical Sensitivity of Diaphragm for MEMS

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	, Bahram Azizollah-Ganji
نشریه	International Journal of Engineering
تاریخ انتشار	۲۰۱۳

چکیده مقاله