Simulation of High Sensitivity MEMS Capacitive Pressure Sensor with Small Size and Clamped Square Diaphragm

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Yadollah Hezarjaribi, Mahdie Yari Esboi, Bahram Azizollah-Ganji
نشریه	majlesi journal of telecommunication devices
تاریخ انتشار	۲۰۱۶

چکیده مقاله