Design modeling and fabrication of crab-shape capacitive microphone using silicon-on-isolator wafer

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, Sedighe Babaei sedaghat, Alberto Roncaglia, Luca Belsito, Reza Ansari
نشریه	Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS
تاریخ انتشار	۲۰۱۸

چکیده مقاله