A new method to increase MEMS microphone sensitivity using small circular diaphragm with fixed center

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Nastaran Nademi, Javad karamdel, Bahram Azizollah-Ganji
نشریه	MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
تاریخ انتشار	۲۰۱۷

چکیده مقاله