Design and modeling of a frog-shape MEMS capacitive microphone using SOI technology

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Sedighe Babaei sedaghat, Bahram Azizollah-Ganji, Reza Ansari
نشریه	MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
تاریخ انتشار	۲۰۱۸

چکیده مقاله