A novel MEMS capacitive microphone using spring-type diaphragm

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Sedighe Babaei sedaghat, Bahram Azizollah-Ganji
نشریه	MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
تاریخ انتشار	۲۰۱۹

چکیده مقاله