Design and fabrication of very small MEMS microphone with silicon diaphragm supported by Z-shape arms using SOI wafer

استاد

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر

گروه: الکترونیک

رزومه

دانشکده: مهندسی برق و کامپیوتر - گروه: الکترونیک

نویسندگان	Bahram Azizollah-Ganji, Sedighe Babaei sedaghat, Alberto Roncaglia, Luca Belsito
نشریه	SOLID-STATE ELECTRONICS
تاریخ انتشار	۲۰۱۸

چکیده مقاله